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使用便携式真空计校准装置“小尺子”都出现在什么地方？便携式真空计校准装置自研制代至今，近几年来，产品得到国内外30多家单位的应用。“小尺子”发挥着“大作用”，在嫦娥系列月球探测器、火星探测器、空间站、北斗导航等重大航天型号任务的研制试验及发射中得到了极大应用；在芯片、行波管、高大上电气、真空器件、高精度时钟、电池等生产过程/生产设备的定期校准中也发挥着重要作用；

同时，在航空发动机、火箭、等的试验与生产，特种钢材冶炼、高纯度气体制备、装备生产现场都曾出现便携式真空计校准装置的小身影。科技要发展，计量须。2022年，514所将继续开足马力加持技术攻关，做好当前产品优化升级和市场推广，做好后续的深度开发和成果转化，为所高质量发展贡献力量，以实际行动为建设重大工程的顺利开展提供高可靠测量技术保障。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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真空计的校准

现如今，真空在大家日常生活中被广泛运用于大气商品的生产制造及制造，而且起着关键人物角色。例如：在科学研究，工业生产步骤，手机处理器，电脑硬盘，太阳能充电电池，塑胶干躁或是食品类真空包裝等行业。在如今的制造运动中，大家对真空度测量的性、规范化、稳定性和重复的标准是极为重要的。在我们在开展测量的情况下，高精密又是重要中的关键：

精密度的大小会立即影响到设备的制造品质，科学试验的性和设施运用的稳定性。要保证真空计应用时的可靠性高，就务必常常对它开展校准或校准。而依据每一个不一样运用的主要规定，这种校准工作中务必合乎中国或相应的国际性的规范。经济发展、合理、、化的组织校准及校准取代解决方法；生产制造运动中，真空计通常必须对外开放主管机关开展校准和校准。

校准规定

在开展校准前，务必达到如下所示标准：

■系统软件限工作压力ρE务必超出不大校准工作压力ρmin的50倍

(ρE≤ρmin/50)

■工作温度务必稳定(±1°C)

■校准系统软件务必热平稳

■规范真空计和别的真空计在检测时真空度务必平稳

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inficon电容塑料薄膜真空计，电路为闭环控制构造，包含微电容测量电路和静电力控制电路，在其中静电力控制电路用于造成平衡力压塑料薄膜的静电力，系统对的测量特性拥有极为重要的危害，该方式在确保真空计高度测量的并且还能扩宽其动态性测量范围。

inficon电容塑料薄膜真空计用以真空泵测量，规定在较宽的工作压力测量范围可以测出较小的工作压力变化量，与此同时必须达到深空探测、临近空间检测及其流体力学试验等运动中测量仪器设备微型化的规定，因此测量电路应当在达到测量规定的条件下尽量完成一体化、微型化、功能损耗低。

因而，对于不一样电级构造的inficon电容塑料薄膜真空计微电容测量电路应向着便于集成化、微型化的角度发展趋势。因为根据电源开关电容法的微电容测量电路便于集成化，而静电平衡构造的微电容测量法有扩宽动态性测量范围的优点，因而根据二者融合的微电容测量电路有希望完成对inficon电容塑料薄膜真空计总体测量特性的提高。

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